金融界2025年2月22日动静，国度学问产权局消息显示，授权通知布告号 CN 222507535 U，申请日期为2024年3月。

　　专利摘要显示，本适用新型公开了晶圆宏不雅查抄模组，其特征正在于：包罗第一动弹模组、第二动弹模组、第一扭转模组、第二扭转模组和夹持模组。此模组可用于6寸、8寸、亦可做为晶圆搬运机的曲达坐，用于晶圆的预对位，通过机械手上料，通过夹持机械手两轴靠位进行夹持动做此模组可实现θ1 θ2 小扭转和大扭转四个标的目的活动可以或许更完整的通过四轴同时活动，对晶圆宏不雅查抄愈加完整。